目前市面上主要有以下四個流速的粒子計數(shù)器，分別是2.83L/Min、28.3L/Min、50L/Min、100L/Min。儀器的數(shù)據(jù)單位有計數(shù)單位Σ#，濃度單位Σ#/L, Σ#/FT³, Σ#/M³。
計數(shù)單位Σ#表示的是已經(jīng)采樣的體積里有多少數(shù)量的粒子數(shù)。
濃度單位Σ#/L, Σ#/FT³, Σ#/M³不管采樣體積多少，都要換算成1L或者1FT³或者M³里面有多少顆粒。
流速換算如下
2.83 L/min=0.00283 m³/min =0.1 ft³/min
28.3 L/min=0.0283 m³/min =1 ft³/min
50L/min=0.050 m³/min ≈1.77ft³/min
100L/min=0.1 m³/min ≈3.53ft³/min
那么不同流速塵埃粒子計數(shù)器的粒子數(shù)換算規(guī)則是什么呢？下面就以9500 為例，跟大家介紹一下。如圖：

▲# ：代表差分值，指的是大于等于當前通道小于下一通道的粒子數(shù)。
Σ# ： 代表累積值，指的是大于等于當前通道小于儀器最大檢測上限的粒子數(shù)。
9500運行一分鐘，采樣體積100L，對應(yīng)的采樣數(shù)據(jù)見下圖：

以上數(shù)據(jù)對應(yīng)的就是Σ#數(shù)據(jù)，你可以理解為Σ#/100L，那么換算為Σ#/m³就是Σ#/1000L，對應(yīng)數(shù)據(jù)就是×(1000?100），數(shù)據(jù)如下：

那么換算為Σ#/FT³就是Σ#/28.3L，對應(yīng)數(shù)據(jù)就是×（28.3?100），數(shù)據(jù)換算后如下，TSI儀器小數(shù)點四舍五入，Metone是小數(shù)點后一位。

那么換算為Σ#/L，對應(yīng)數(shù)據(jù)就是×（1?100），數(shù)據(jù)換算后如下：

Metone計算方式是保留小數(shù)點后一位

TSI計算方式是取整，四舍五入

潔 凈 室 等 級
 ISO14644潔凈室等級 

GMP潔凈室等級 

209E潔凈室等級 

 ISO14644國際標準潔凈等級與美國聯(lián)邦標準等級（Fed-STA-209E）對照