在半導體制造工藝中，生產環境的潔凈度有著極高要求，即便是納米級的氣態分子污染物（AMC）也會對制程造成干擾，導致產品良率顯著下降。因此，使用實時在線監測系統已成為半導體工業質量控制體系中至關重要的技術保障環節。

傳統的分析方法因涉及冗長的采樣流程與復雜的樣品預處理環節，往往無法在短時間內輸出分析數據，致使產線無法實現快速響應與工藝調控。而億天凈化AMC化學污染物在線監測系統憑借其ppb級超高靈敏度特性，成為半導體制造環境實時監控的理想解決方案。

AMC化學污染物在線監測系統是什么？

AMC在線監測系統可對潔凈區域中的環境進行AMC監測，配合信號控制箱、監測服務器電腦、軟件、泵、多路采樣器以及根據廠房的實際情況配全相應的數據線電源線等輔材，可實現環境中的AMC實時監測顯示、存儲、歷史查看、圖表分析等功能，滿足半導體潔凈廠房環境數據的管理需求。

AMC化學污染物在線監測系統特點與優勢

1. 通過監測系統對AMC物質濃度監測，建立預警系統；

2. 部分監測物質檢出限可達ppt級別；

3. 針對RC、CxF、TVOC等物質具備定制化功能；

4. 提供實時在線歷史數據查看和數據圖標趨勢分析;

5. ESKY公司具備CNAS資質實驗室，可進行數據手工校驗;

6. 遠程控制，支持 TCP/IP 以及 485 連接到現有上位機。

AMC化學污染物在線監測系統配置